introduction
Le « Mems » est un microsystème électromécanique – en anglais « Micro Electro Mechanical Systems » qui est fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. L’intérêt de cette technologie est sa dimension microscopique, de l’ordre d’une dizaine de nanomètres qui permet une intégration dans un composant miniature. L’assemblage de silicium et composants variés associés dans un processus d’usinage donne une réponse électrique au niveau du comportement micromécanique de la pièce.
Principe
L’élément sensible est assemblé en pont de Wheatstone : une contrainte déséquilibrera le pont générant ainsi un signal proportionnel à la sollicitation.
- La dimension miniature permet une combinaison adaptée aux forts niveaux d’accélération :
faible poids, très grande fréquence de résonance, étendue de mesure élevée. - Comme il mesure autant les phénomènes hautes fréquences qu’une accélération constante,
le signal peut être intégré (énergie, vitesse, déplacement…) - Le retour à 0 après un choc est extrêmement rapide.