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La technologie capacitive pour les accéléromètres

Les MEMS (systèmes micro-électromécaniques) désignent tout capteur fabriqué à l’aide de techniques de fabrication microélectronique. Les accéléromètres MEMS à capacité variable (VC) sont des dispositifs à plage plus basse et à sensibilité élevée utilisés pour la surveillance structurelle et les mesures d’accélération constante.
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